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Business Lines

業務範疇與能力

潔淨承載,守護每一片晶圓|精密載具,賦能自動化

半導體載具能力介紹

半導體載具(FOUP/FOSB/SMIF)

Clean handling, safeguarding every wafer.

我們專注於前開式載具與封裝出貨載具的設計、調校與相容性驗證,重點在低微粒、抗靜電策略與自動化設備的穩定對接。從新建產線到導入升級與維保,我們皆可提供工程化支持。

  • 相容性工程:Load Port/AMHS 對接規劃與測試流程
  • 潔淨度與脫氣控管:製程導入前後的指標驗證與報告
  • 識別與追溯:條碼/RFID 策略、標識與資料綁定
  • 生命週期服務:清洗、檢測、維護與再認證流程
晶舟與卡匣能力介紹

晶舟與卡匣(PFA/PEEK/金屬)

材質選型與片距工學,為關鍵製程確保穩定。

面向濕製程、高溫製程與耐化環境,我們提供材質選型諮詢與定制,包括 PFA、PEEK 與金屬結構;並可依厚片、翹曲與邊緣保護需求,調整槽距、接觸面與支撐設計。

  • 化學相容與耐溫諮詢:材質與藥液/爐溫匹配建議
  • 槽距與承載定制:厚片/大尺寸/特殊邊緣支撐
  • 標識與追溯:雷雕、序號、清洗批次管理
  • 現場導入與維保:異常追蹤、改善回報與持續優化
光罩傳輸能力介紹

光罩傳輸(RSP150/Mask Pod)

精準保護,讓每一塊光罩安全抵達曝光現場。

針對光罩的潔淨搬運與倉儲,我們提供盒體與周邊配套的方案規劃,包括存取流程規格化、環境條件建議與追溯管理設計,強化整體運行的可靠度。

  • 存取與搬運流程設計:降低開蓋與轉運風險
  • 環境策略:潔淨等級與溫濕條件建議
  • 追溯與料帳:標識規則與資料介接規劃
  • 教育訓練與稽核:SOP 制定與例行稽核支持
封裝測試載具能力介紹

封裝測試載具(IC/LED Trays)

從工站到出貨,讓良率與節拍同時在線。

面向封裝與測試場景,我們協助規劃托盤、料帳、烘烤與標識的整體解決方案,兼顧抗靜電、耐溫與物流效率,讓生產節拍與品質要求取得平衡。

  • JEDEC 尺寸與材質建議:抗靜電與耐溫等級配置
  • 在製流與倉儲策略:分揀、序列化與倉儲動線
  • 標籤與條碼:工單/批次/箱單對應與驗收規則
  • 包裝與出貨:防護、緩衝與國際運輸合規
智慧晶舟盒 RFID 晶舟管理解決方案

智慧晶舟盒(含 RFID 追蹤)

讓晶舟從「載具」升級為「可追蹤資產」,即時掌握在製 WIP 流向。

透過將 RFID Tag 與晶舟盒整合,可在高溫、無塵環境中精準識別與追蹤每一批晶圓,並可與既有 MES / WIP 系統串接,降低遺失風險與找片時間。

  • 支援多種晶舟規格(Quartz / PFA / 金屬等),可依產線需求客製設計。
  • 依製程條件選用耐高溫、耐化學品或金屬環境適用之 RFID Tag。
  • 提供 Reader 佈建、現場測試與 MES / WMS / WIP 系統整合服務。
  • 可搭配現有 FOUP / FOSB / 晶舟管理規範,分階段導入試產與量產專案。

合作夥伴

與半導體供應鏈的長期協作,從載具到自動化一體貫通。