Clean handling, safeguarding every wafer.
我們專注於前開式載具與封裝出貨載具的設計、調校與相容性驗證,重點在低微粒、抗靜電策略與自動化設備的穩定對接。從新建產線到導入升級與維保,我們皆可提供工程化支持。
材質選型與片距工學,為關鍵製程確保穩定。
面向濕製程、高溫製程與耐化環境,我們提供材質選型諮詢與定制,包括 PFA、PEEK 與金屬結構;並可依厚片、翹曲與邊緣保護需求,調整槽距、接觸面與支撐設計。
精準保護,讓每一塊光罩安全抵達曝光現場。
針對光罩的潔淨搬運與倉儲,我們提供盒體與周邊配套的方案規劃,包括存取流程規格化、環境條件建議與追溯管理設計,強化整體運行的可靠度。
從工站到出貨,讓良率與節拍同時在線。
面向封裝與測試場景,我們協助規劃托盤、料帳、烘烤與標識的整體解決方案,兼顧抗靜電、耐溫與物流效率,讓生產節拍與品質要求取得平衡。
讓晶舟從「載具」升級為「可追蹤資產」,即時掌握在製 WIP 流向。
透過將 RFID Tag 與晶舟盒整合,可在高溫、無塵環境中精準識別與追蹤每一批晶圓,並可與既有 MES / WIP 系統串接,降低遺失風險與找片時間。